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Lasertec推出高灵敏度光刻掩膜版缺陷检测装置

作者:未知  来源:日经BP网   更新:2005-2-19 7:16:00  点击:  切换到繁體中文

日本Lasertec317日开始受理单列式(Inline)掩膜版缺陷检测装置“M3320”的订单。该装置面向90nm工艺LSI进一步提高了检测灵敏度。

  M3320是该公司原产品“M1320”的改进机型,在保持处理量的同时,将缺陷检测灵敏度提高到了100nm。通过改进光学系统和缺陷信号电路而实现。其它的特点如下:(1)可在不受底板反面反射影响的情况下实现底板表面缺陷检测;(2)可通过激光共焦光学系统,对检测到的缺陷三维形状进行观察;(3)可自动判别检测到的缺陷是划伤还是异物;(4)可广泛用于从玻璃底板到光刻胶的所有工序中;(5)最多可配备5套使用,可灵活设置其结构。另外,处理量为1/5分钟。价格约为3亿日元(约合人民币2300万元)。

レーザーテックは,90nmノードのLSI向けに高感度化を図ったインライン型のマスク・ブランクス欠陥検査装置「M3320」の受注を317日から開始した。

 M3320は,同社従来機「M1320」の後継版であり,スループットを維持しながら,欠陥検出感度を100nmに向上している。光学系と欠陥信号回路の改良によって達成した。このほかの特徴は以下の通り。(1)基板裏面反射の影響を受けずに基板表面の欠陥検査が可能である。(2)レーザー・コンフォーカル光学系により,検出した欠陥の3次元形状を観察できる。(3)検出した欠陥が傷であるのか,異物であるのかを自動判定する。(4)ガラス基板からレジストまで全ての工程に対して幅広く使える。(5)最大5カセットまで搭載でき,その構成を柔軟に設定できる。なお,スループットは1/5分。価格は約3億円。

 


 

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