美国FEI公司日前成功开发出了分辨率高达0.07nm的电子显微镜“Titan 80-300”。从分辨率来讲,作为TEM(透射电子显微镜)使用时为0.07nm,用作STEM(扫描透射电子显微镜)时为0.1nm。
据称在目前市场上销售的电子显微镜中实现了全球最高的分辨率。过去的电子显微镜不一定对提高分辨率的像差补偿技术进行优化。但此次则引进了与像差补偿技术相适应的设计,这一点在市售产品中也是第一次尝试。在8月于美国檀香山召开的“2005年显微术与显微分析技术会议(2005 Microscopy and Microanalysis meeting)”上正式发表之后,即可上市。 |
米FEI Co.は解像度0.07nmを達成できる電子顕微鏡「Titan 80-300」を開発した。解像度はTEM(transmission electron microscope)として利用した場合に0.07nm,STEM(scanning transmission electron microscope)の場合に0.1nmである。
市販の電子顕微鏡としては世界最高クラスの解像度になるという。これまでの電子顕微鏡は,高解像度化のために必要な収差補正技術に対して必ずしも最適化されていなかった。しかし,今回は収差補正技術に対応した設計を導入しており,これは市販品としては初めての試みとする。このため,国立機関などの限定された研究所だけではなく,大学や企業でも使えるという。正式には8月に米国ホノルルで開かれる「2005 Microscopy and Microanalysis meeting」で発表した後,利用可能になる。 |