新华网东京5月5日电(记者 钱铮)日本产业技术综合研究所5日发布新闻公报说,该所科研小组采用新技术随心所欲地控制单层碳纳米管的形状,并成功在基板上集成了1000多个具有复杂立体形状的碳纳米管元件。
碳纳米管的直径通常为几纳米到几十纳米,管壁厚度仅有几纳米。碳纳米管的韧性高,导电性强,兼具金属和半导体的特性,是超微元件的理想材料。但是,生成任意形状的碳纳米管并对其进行加工一直是个难题。
在这家研究所的实验中,研究人员先是借助“Super-Growth化学气相生成法”等技术制作出碳纳米管晶片,然后在碳纳米管晶片表面涂上抗蚀剂,然后经过曝光、显像等多道工序,最终可将碳纳米管加工成任意形状。
研究论文已于5日发表在《自然·纳米技术》杂志的网络版上。