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日本企业开发出直接注入焊锡形成高密度凸点的装置

作者:佚名 文章来源:nikkeibp.com.cn 点击数 更新时间:2015/12/14 9:56:59 文章录入:贯通日本语 责任编辑:贯通日本语

日本JSR、IBM日本及千住金属工业三家公司2015年12月09日宣布,共同开发出了面向300mm晶圆的半导体高密度封装用端子形成技术——熔融焊锡模具注入法。该技术最初由IBM日本公司开发,通过向半导体晶圆上以光刻胶(保护膜材料物质)形成的掩膜的开口部直接注入熔融焊锡来形成凸点……





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