各种特种气体(包括高纯度氯气)在生产半导体中用作蚀刻气。随着电子设备小型化，用的各种气体已有部分变化，但高纯度氯气的需求估计仍会稳定。

　　昭和电工还说，由于大型平面显示器的产量增加，用于生产液晶显示器的高纯度氯气的需求也在迅速增加。