日本Lasertec从3月17日开始受理单列式(Inline)掩膜版缺陷检测装置“M3320”的订单。该装置面向90nm工艺LSI进一步提高了检测灵敏度。 　　M3320是该公司原产品“M1320”的改进机型，在保持处理量的同时，将缺陷检测灵敏度提高到了100nm。通过改进光学系统和缺陷信号电路而实现。其它的特点如下：（1）可在不受底板反面反射影响的情况下实现底板表面缺陷检测；（2）可通过激光共焦光学系统，对检测到的缺陷三维形状进行观察；（3）可自动判别检测到的缺陷是划伤还是异物；（4）可广泛用于从玻璃底板到光刻胶的所有工序中；（5）最多可配备5套使用，可灵活设置其结构。另外，处理量为1枚/5分钟。价格约为3亿日元（约合人民币2300万元）。

レーザーテックは，90nmノードのLSI向けに高感度化を図ったインライン型のマスク・ブランクス欠陥検査装置「M3320｣の受注を3月17日から開始した。 　M3320は，同社従来機「M1320」の後継版であり，スループットを維持しながら，欠陥検出感度を100nmに向上している。光学系と欠陥信号回路の改良によって達成した。このほかの特徴は以下の通り。（1）基板裏面反射の影響を受けずに基板表面の欠陥検査が可能である。（2）レーザー・コンフォーカル光学系により，検出した欠陥の3次元形状を観察できる。（3）検出した欠陥が傷であるのか，異物であるのかを自動判定する。（4）ガラス基板からレジストまで全ての工程に対して幅広く使える。（5）最大5カセットまで搭載でき，その構成を柔軟に設定できる。なお，スループットは1枚/5分。価格は約3億円。