据10月26日消息,为满足半导体和液晶显示(LCD)工业日益增长的需求,日本昭和电工(Showa Denko)公司计划对其日本川崎的高纯度氯气装置作扩能。该公司将投资870万美元进行此次扩能,高纯度氯气产能将从目前的300吨/年提高至1000吨/年,氯气充装产能将从300吨/年提高至600吨/年,预计在2007年上半年完成。另据昭和电工称,氯气充装产能将根据市场状况在2008年底之前扩能至1000吨/年。根据预测,到2010年,高纯度氯气市场将增加到2005年的3倍。
各种特种气体(包括高纯度氯气)在生产半导体中用作蚀刻气。随着电子设备小型化,用的各种气体已有部分变化,但高纯度氯气的需求估计仍会稳定。
昭和电工还说,由于大型平面显示器的产量增加,用于生产液晶显示器的高纯度氯气的需求也在迅速增加。