日本山武日前推出了可安装在电子元件封装设备等前面板上的气体流量控制器“MPC”。能够控制空气、氮气、氩气、二氧化碳的气体流量。尺寸为48×48×73.7mm,重量300g,全球最小、最轻。结合着小型轻量设计,开发出了电磁阀,能够自动进行流量控制。可控制的流量共有4种,按氮气(1个大气压20℃)换算分别为0.5、2.0、5.0和20.0L/分钟。采用开放式价格,2005年度力争实现1亿日元(约合人民币769万元)、2007年度争取实现10亿日元(约合人民币7690万元)的销售额。
过去,不同的气体必须采用专用控制器。而MPC则可以切换使用4种气体。流量最多可登记4种,最高能够进行8位乘积运算。当流量超过设定值时,就会通过警报器进行报警。
配备了该公司开发的微处理器。将测定流量所需的传感器和加热器类元件进行了一体设计,传感器本身能够直接测量气体流量。响应性为1ms,测量范围为300:1。利用这种传感器,可在不受压力与温度变化影响的情况下,以±2%FS的精度进行测量。最快只需1s即可按照设定值进行控制。
由于将管线连接部分和配线部分集中到了机身背面,因此便于在设备上进行安装。可使用面板前面的按键进行设定。除此之外,作为用户选配项还可配备模拟输入输出功能及RS-485通信功能,并能使用这些功能进行设定。假如使用另卖的软件,既能对设定值进行管理,还能收集控制流量值的趋势数据。 |
山武は,プラズマ溶接機、電子部品実装関連装置などの前面パネルに設置可能な気体流量コントローラ「MPC」を発売した。空気や窒素,アルゴン,炭酸ガスの流量を制御できる。大きさは48×48×73.7mm,質量は300gで,世界最小・最軽量。小型で軽量な比例ソレノイドバルブを開発し,自動で流量制御できるようにした。制御できる流量が,窒素(1気圧20℃)換算で0.5,2.0,5.0,20.0L/分の4機種をそろえる。価格はオープンだが,2005年度は1億円,2007年度には10億円の売り上げを目指す。
これまでは気体ごとに専用のコントローラが必要だったが,MPCは,4種類を切り替えて使える。流量は四つまで登録でき,8桁まで積算できる。流量が設定値を超えた時には警報をアラームで出力する。
同社が開発したマイクロフローセンサを搭載。これは,流量を測るのに必要なセンサやヒータ類を一体にしたもので,センサ自体で直接,気体の流量を計測する。応答性は1ms,計測範囲は300:1。このセンサによって,圧力や温度変化の影響を受けずに精度±2%FSの測定が可能だ。最短1sで設定値に制御できる。
配管接続部と電気配線部を本体の背面に集めたため,装置に取り付けやすい。パネルの前面にあるキーを使って,設定できる。そのほか,オプションでアナログ入出力機能やRS-485通信機能を付け,それらを使って設定する方法もある。別売りのソフトウエアを利用すれば,設定値の管理や制御流量値のトレンドデータの収集が可能だ。 |