光刻机是半导体行业最核心的设备之一,能轻松卡住全球芯片制造的脖子。而ASML则是全球光刻机领域绝对的霸主,对EUV光刻机实现了100%垄断,其产品引得台积电、三星、英特尔等代工巨头的争抢。
日前,芯研所援引外媒消息称,到2021年第二季度时,ASML EUV设备出货102台;而在未来2年里,这一数字有望增长至2倍以上。
不过值得注意的是,即使是ASML也无法独立生产光刻机,其背后有着5000多个供应商。其中,日本供应商更是处在关键位置,一旦断供,AML便再也生产不出EUV光刻机。
一是,检测设备。
在EUV相关设备——EUV光罩(掩膜板)检测设备上,日本Lasertec Corp.的市场占比达100%,是这一赛道中唯一的玩家。
检测设备能够检测原始电路板的光掩膜内部是否有缺陷、芯片设计模板上的微观磨损,这对于保证芯片的生产十分重要。毕竟,掩膜板上的单个缺陷损毁的将是上千个器件。
但是,EUV光罩检测设备的研发并不是那么容易,要知道EUV的波长仅为13.5nm。
但lasertec成功克服了这一难题,为业界实现了一个又一个里程碑式的突破。最终,其树立了自己无法被动摇的地位。
二是,EUV涂覆显影设备。
EUV涂覆显影设备负责光刻机的输入与输出,能在硅片上将特殊的化学液体作为半导体材料进行显影。
而在这一关键领域,日本东京电子的垄断程度达到了100%。
东京电子是全球半导体设备巨头,其涵盖范围十分广泛,在半导体制造流程中几乎所有工序都有东京电子设备的身影;且在诸多领域都做到了世界前列。
作为日本首家半导体制造设备厂商,东京电子为推动日本半导体设备国产化做出了关键贡献。随着日本半导体产业的兴起,东京电子也逐渐发展壮大,用18年时间走到了世界的最前列。
尤其是在EUV涂覆显影设备上更是功勋卓著,牢牢占据着垄断地位,进而关系着全球芯片制造业。
在EVU光罩检测设备、EUV涂覆显影设备两大领域,日本企业一旦断供,ASML再也生产不出EUV光刻机。由此可见,日本企业的重要性。
三是,光刻胶。
在芯片制造的关键耗材——光刻胶领域,日本企业同样占据垄断地位。在EUV光刻胶领域,日本企业的市场占有率达90%之高,几乎没有敌手。
在整个半导体用光刻胶市场,日本JSR、东京应化、富士电子材料、日本信越这四大企业,占据了72%的市场。由此不难看出,日本企业在这一领域的关键地位。
写在最后
在光刻机领域,日本企业虽然失去了此前的优势地位,被ASML所压制。但是,在光刻胶核心部件、半导体材料、半导体设备等诸多领域,日本企业仍是处在难以撼动的地位,在全球半导体产业链中占据了关键的一环。
所以才说,日本企业一旦断供,就连ASML也难以维持生产。