日本三洋电机公司成功开发出了高速生产硅薄膜的技术，并用新技术生产出了双重构造的薄膜型太阳能电池，使以较低成本生产光电转换效率较高的实用太阳能电池成为可能。

　　据《日经产业新闻》9日报道，太阳能电池的硅薄膜一般用等离子化学气相沉积法生成。等离子化学气相沉积法的要点是将气态硅喷涂到基板上，但是如果需要面积大的薄膜，喷涂的气体压力就容易下降，膜的形成速度就会变慢。三洋电机公司通过将喷涂气态硅的喷嘴形状从原先的扁平状改成金字塔状，成功使气态硅维持高压状态。

　　技术人员用新技术试制了纵向55厘米、横向65厘米的太阳能电池板，薄膜的形成速度相当于每秒3纳米厚。如果利用这一新技术生产厚2微米的双层硅薄膜，速度可提高到原来的9倍。太阳能电池板的光电转换效率可达9．84％，比薄膜型太阳能电池通常5％至8％的转换效率要高。

　　制造速度的提升，使每台设备的产量大幅提高，生产成本随之显著降低。据三洋电机公司介绍，如果用于实际批量生产，那么平均每瓦功率的成本约为150日元（约合1．4美元），大约是晶体硅的一半。

　　三洋目前正计划验证新技术能否用于生产纵向1．1米、横向1．4米的大型电池板，还希望将光电转换效率提升到14％。

　　太阳能电池有多种类型，薄膜型太阳能电池因为薄，所以其原料硅的使用量只有多晶硅太阳能电池的1％，因而价格要便宜。但是，其光电转换效率只有晶体硅太阳能电池的一半，后者的转换效率已超过20％。要实现批量生产薄膜型太阳能电池，可大面积设置、价格低、转换效率高等3个条件缺一不可，但同时满足这3个条件的难度非常大。