日立製作所は世界で最高精度の電子顕微鏡を開発した。分解能は0.043ナノ（ナノは10億分の１）メートルで、結晶中に並ぶ原子を１個ずつ見分けられる。これまでの最高記録は東京大学と日本電子が共同開発した機器の0.045ナノメートルだった。新しい磁性材料や超電導材料の開発に活用する。

開発したのは透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）と呼ばれる電子線で試料の内部を調べる機器。電子を120万ボルトの高電圧で光速の95％まで加速して観察する。金属の場合、厚さが従来の約４倍の約400ナノメートルまで観察できる。実験では発光ダイオード（ＬＥＤ）用材料の窒化ガリウムを調べ、窒素やガリウム原子を明瞭に区別できた。

政府の最先端研究開発支援プログラム（ＦＩＲＳＴ）で開発した。研究内容は18日付の米物理学会専門誌アプライド・フィジックス・レターズ（電子版）に掲載する。